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上海貴爾機(jī)械設(shè)備有限公司
CVD系統(tǒng)

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CVD系統(tǒng)管式爐

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產(chǎn)品詳情

GR.TF系列真空管式爐詳細(xì)介紹


GR.TF系列真空管式爐,具有合理的性能設(shè)計(jì),集多項(xiàng)功能于一身,安全性,可靠性,實(shí)用性均達(dá)理想效果。

1、最高溫度1100℃-1800℃,加熱區(qū)為300mm。

2、爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu),雙層爐殼之間裝有風(fēng)機(jī),可以快速升降溫,爐殼表面溫度低。

3、爐管采用高純石英管或者剛玉管,兩端采用SUS304高真空法蘭密封。

4、爐膛材料采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口氧化鋁多晶纖維真空吸附制成,與傳統(tǒng)硬質(zhì)爐膛材料電爐相比節(jié)能性明顯提高,具有較強(qiáng)的抗驟冷驟熱性,1100℃電爐爐膛由上下兩部分組成,其中上部分爐膛可整體向后翻轉(zhuǎn)110℃,1100℃以上電爐爐膛為一體式,方便取放實(shí)驗(yàn)物料、更換爐管。加熱元件采用瑞典康泰爾電阻絲、硅碳棒、硅鉬棒。

5、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),儀表控制精度為±1℃,具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定能力并可編制各種升溫程序,具有超高溫報(bào)警功能,具有熱電偶損壞斷電功能,具有內(nèi)置參數(shù)密碼控制功能。

6、升溫速率≤30℃/min(建議升溫速度≤10℃/min),可編寫(xiě)30段自動(dòng)升溫程序,可控硅控制,配備數(shù)顯LED電壓表、電流表。

7、可選配RS-485通訊接口,數(shù)據(jù)管理軟件,具有無(wú)紙記錄歷史數(shù)據(jù)和升溫曲線,校正溫度偏離誤差的功能,可以管理多臺(tái)設(shè)備和遠(yuǎn)程故障診斷分析。

8、多種安全防護(hù)設(shè)計(jì),安全性能好,使用壽命長(zhǎng)。

9、電爐可以抽真空、通氣氛,真空度可以達(dá)到10pa(機(jī)械泵),如果需要更高真空度可以選擇分子泵,達(dá)到6.67x10-3pa。

 

標(biāo)準(zhǔn)配置:

 

1、304不銹鋼法蘭1套

2、密封圈4只

3、爐塞 2只

4、爐勾 1把

5、說(shuō)明書(shū)、保修卡、合格證 1套

6、石英管或者剛玉管  1支


高真空泵組(分子泵組)


   GR-620/GR-500F型系列復(fù)合分子泵機(jī)組是由F160/620系列各性能復(fù)合分子泵或FF-160/500F系列復(fù)合分子泵,前級(jí)抽氣泵,隔斷放氣閥,前級(jí)管路,斷水保護(hù)器,分子泵電源、高真空檢測(cè)系統(tǒng)(復(fù)合真空計(jì)),控制電源等組裝于機(jī)架上而成的清潔超高真空獲得設(shè)備。安裝方便,操作簡(jiǎn)單,易于聯(lián)接,性能可靠,可廣泛用于表面分析,加速器技術(shù),半導(dǎo)體設(shè)備,等離子體技術(shù),電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。

FJ-620分子泵機(jī)組技術(shù)性能:

  

產(chǎn)品型號(hào)

GR-620

進(jìn)氣口法蘭

DN160LF

DN160CF

抽氣速率L/S(對(duì)空氣)

600

壓縮比    N2

          H2

>109

6×103

 建議啟動(dòng)壓強(qiáng)

<100 Pa

極限壓強(qiáng)(Pa)

6×10-6

6×10-7

排氣口法蘭

KF25/KF40

使用軸承

精密機(jī)械軸承

輸入電壓頻率(V/Hz)

220±20/50

環(huán)境溫度(℃)

0~40

前級(jí)泵型號(hào)

RVP-6

額定工作轉(zhuǎn)數(shù)(rpm)

42,300

冷卻方式

水冷

冷卻水壓力(MPa)

0.1-0.2

冷卻水溫度(℃)

<25

安裝方式

任意

重量(公斤)

52

長(zhǎng)&times;寬&times;高

730&times;520&times;700

重量

117

 

供氣系統(tǒng)

 

質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里,移動(dòng)柜最大可以承重1000Lbs,各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在觸摸屏上,同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。

&middot; 標(biāo)準(zhǔn)量程:100sccm、200sccm、200sccm、500sccm(可以定制量程與數(shù)量)

&middot; 質(zhì)量流量控制器:

(1)工作電壓:AC 220V/50HZ

(2)工作溫度:5-45℃

(3)工作壓強(qiáng):3&times;106 Pa

(4)最大輸出功率:23W

(5)精度:&plusmn;1.5%FS

(6)線性:&plusmn;(0.5-1.5)%F.S

(7)重復(fù)精度:&plusmn;0.2%F.S

(8)響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1-4 Sec,電特性:10 Sec

(9)工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

&middot; PLC觸摸屏:

各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在觸摸屏上,可以選配RS485通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上,進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

&middot; 機(jī)械壓力表:量程范圍:-0.1-0.15MPa

&middot; 針閥:316不銹鋼

&middot; 管件:內(nèi)部連接管道為1/4〞聚四氟管,外部通氣管道為1/4〞聚四氟管

&middot; 氣體混料罐:&Phi;80&times;120mm

&middot; 截止閥:316不銹鋼針閥&Phi;1/4〞

&middot; 產(chǎn)品規(guī)格: 600&times;745&times;700mm

 

 

GR.TF系列真空管式爐型號(hào)及規(guī)格

 

型號(hào)

爐管尺寸(mm)

(DxWxH)

功率

(KW)

最高溫度

(℃)

額度溫度

(℃)

加熱元件

電壓

(V)

GR.TF60/11

Φ60×1000

4

1100

1000

康泰爾電阻絲

220

GR.TF80/11

Φ80×1000

4

1100

1000

康泰爾電阻絲

220

GR.TF100/11

Φ100×1000

4

1100

1000

康泰爾電阻絲

220

GR.TF150/11

Φ150×1000

5

1100

1000

康泰爾電阻絲

220

GR.TF200/11

Φ200×1000

6

1100

1000

康泰爾電阻絲

220

GR.TF60/14

Φ60×1000

6

1400

1300

硅碳棒

220

GR.TF80/14

Φ80×1000

6

1400

1300

硅碳棒

220

GR.TF100/14

Φ100×1000

7

1400

1300

硅碳棒

220

GR.TF60/16

Φ60×1000

7

1600

1500

硅鉬棒

220

GR.TF80/16

Φ80×1000

7

1600

1500

硅鉬棒

220

GR.TF100/16

Φ100×1000

7

1600

1500

硅鉬棒

220

GR.TF60/18

Φ60×1000

7

1800

1700

硅鉬棒

220

GR.TF80/18

Φ80×1000

9

1800

1700

硅鉬棒

380

GR.TF100/18

Φ100×1000

9

1800

1700

硅鉬棒

380

 

 

 

 


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